心智观察所：中重稀土出口控制，事关光刻机工业对决

liukang20243个月前 (05-10)热心吃瓜784

【文/观察者网专栏作者心智观察所】

不久前，国家商务部、海关总署联合发布公告，决议对部分中重稀土相关物项施行出口操控，包含钐、钆、铽、镝、镥、钪、钇的合金、化合物、氧化物等相关物项出口，有必要依据相关法规向商务部请求许可证。

音讯一出，相关物项的世界商场价格应声暴升，专业人士乃至预期后续将会有500%乃至更大起伏的提价。

正如心智观察所第一时间进行的剖析，此举将会对全球供应链发生战略性影响，尤其是对高度依托这7种稀土资料的高功能磁体、光电资料及其下流国防军工、医疗设备等要害使用领域。

许多人或许还没有意识到的是，此次出招，对光刻机工业制高点的比赛也将带来巨大影响。

众所周知，EUV光刻机已然成为美国对华科技遏止的最要害抓手，一谈起EUV，就会有各种奇奇怪怪的失败主义论调横行于国内言论场，以各种看似厚实的数据言之凿凿证明我国无望追逐。

但是且不说新式举国体制正在EUV技能攻坚中凝集起的力气，单从对手的需求看，在美国统辖长臂企图“锁死”我国光刻机开展上限的一起，美西方本身想要将光刻技能持续向前推动，相同极大受制于我国稀土资料供应。

依据现在ASML发布的产品道路图，其现有EUV产品体系沿着数值孔径和工艺因子优化的途径，估计可迭代到2030年代初期的0.75NA HXE系列，此刻就将抵达现有技能体系的分辨率极限，2035年后，逾越现有架构的“BEUV”（Beyond EUV）光刻机将代替其王者位置。

现在，海外现已相继铺开了BEUV要害技能研讨，如去年底美国劳伦斯利弗莫尔国家试验室（LLNL）就公开了可作为光刻机驱动激光的大孔径铥 (BAT) 激光器，并将牵头组成极点光刻与资料立异中心（ELMIC）。

ELMIC是一项为期四年、耗资1200万美元的研讨项目，将测验BAT激光器能否将EUV光源功率进步约10倍，有望催生下一代BEUV光刻体系，该项目成员还包含ASML首席EUV光源专家Michael Purvis。

关于BEUV，现在还有多条光源技能道路正在被研讨，包含我国已走在全球前沿的自由电子激光（FEL）、稳态微聚束（SSMB）加速器等，不过最新版IRDS光刻道路图中也坦言，代替计划的最大应战是缺少工业生态，因而“向公用事业规划光源架构的必要范式改变具有满足的颠覆性，需求就其开发和相关的生态体系/基础设施革新达到广泛一致”。

依据这一布景，业界关于开发短波长（6.X纳米）的激光等离子体光源给予了高度重视，有很大概率成为优选技能道路，原因不仅是其技能原理与当时EUV光刻机有较高继承性，且多层镜组成的反射式光学体系在6.X纳米波长下理论反射率可高达70%。

不过假如真要下定决心开发6.X纳米光源，其驱动激光、靶材、搜集镜这三大要害技能都需求依托我国所现实独占的稀土资料。

就拿上文说到的BAT激光器为例，其正是以掺铥氟化钇锂 (Tm:YLF) 晶体作为增益介质，具有高激光损害阈值、大发射截面和宽调谐规模等共同功能。此外，相较于现有的二氧化碳激光器，掺钇锂氟化物 (YLF) 和掺钇铝石榴石 (YAG) 等激光晶体作业波长还更有利于拉升光源转化功率。

从靶材上看，铽和钆代替锡靶，也是现在BEUV研讨的热门。

依据本年2月份发表于《光学快报》（Optics Express）的上光所、长光所、长春理工大学团队联合研讨成果，在现有的平面靶双激光脉冲计划基础上，研讨人员经过腔体结构调控预构成等离子体的胀大，进一步优化了钆基BEUV光源 (Gd-LPP) 的光谱功能。试验数据标明，腔体束缚靶保留了传统平面靶双脉冲计划的优势，一起进步了光谱纯度，最高光谱纯度可达4.35%。

至于搜集镜和BEUV光学体系反射镜，相同需求从传统钼/硅多层镜升级到依据镧系稀土元素的La/B4C多层镜。

从这样的极简整理不难看出，有用操控相关稀土资源外流，将会对我国光刻机工业在BEUV阶段的后发先至奠定良好基础。

这就像是一场马拉松比赛，虽然对手看似“遥遥领先”，但终究10公里的赛道，咱们却操控着前导车的速度和方向。

当然，要让稀土操控这张主力真实发挥效能，绝不是一纸公告就能完结，方针落地需求破解的应战相同不少。

首先是职业自律问题。因为国内稀土产值往往大幅超出国内需求量，各类稀土元素每年产值中绝大部分，终究以质料或产品的方式输出海外商场，因而当出口操控收效后，不少稀土企业经营者虽然关于国家战略考量心知肚明，但仍然不免遭受“人道的检测”。面临世界商场的巨大牟利空间，私运激动恐怕难以遏止，镓、锗、锑出口操控后曝出的一些案子已是明证。

其次是监管难度大。稀土元素能够经过多种方式出口，除了直接出口原资料外，还能够经过出口半制品或制品直接流出。这就像是想堵住一个筛子里的水，总有缝隙可钻。操控办法怎么做到既不过度约束正常交易，又能有用避免战略资源外流，需求监管部门下足“绣花功夫”。

再者是世界压力。西方国家对此次操控办法必定巨大反响，乃至可能以“违背WTO规矩”为由提起诉讼，或采纳额定报复办法。这种情况下，怎么不被外部压力所不坚定，需求才智与定力。

终究，则是工业网络协同。单纯依托资源操控并不能从根本上处理技能追逐问题，有必要同步推动下流使用研制，尤其是BEUV光刻核心技能攻关。不然，即便握有稀土资源的天然优势，也难以转化为真实的工业竞赛力。

这不是一场短跑，而是一场持久战，只要将稀土资源优势与技能立异紧密结合，才能在未来的极限技能竞赛中摘取胜利果实。

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